热式质量流量计是利用流体流过外热源加热的管道时产生的 温度场变化来测量流体质量流量，或利用加热流体时流体温度上升某一值所需的能量与流体质量之间的关系来测量流体质量流量的一种流量仪表。它具有压损小，流量范围度大，高精度，高重复性，高可靠性，体积小，易维护不易损坏等特点。
与其他形式的质量流量计相比较，热式质量流量计能够测量较低流速的微小流量。它的结构中不存在可动部件，可靠性高。如无分流管的热分布流量计没有阻流元件，测量不会引起压力损失；带分流管的热分布式或侵入式流量计虽有阻流件，但压力损失很小。
热式质量流量计由传感器和信号分析、处理与控制单元两部分构成。传感器一部分测量温度，而另一部分用于加热。前者监控实际过程温度值；后者维持一恒定温度值，使其总是高于实际过程温度且与该过程温度保持恒定的温度差。气体的质量流量越大，冷却效应就越大，维持差分温度所需的能量也就越大。因此，通过测量加热器的能量便可得出被测气体的质量流量。
科威勒提供的FGM210热式质量流量计是采用*流量传感器芯片，结合 32位高速数字处理电路、高精密算法以及注塑的旁通流道和本体设计，所开发的大量程、高可靠的传感器微系统模组，具有低功耗(典型80mW)、大量程10-300SLM、快速响应(典型5ms)等优点。高性能流量传感器芯片以及核心标定算法技术，配合多种不同流道设计，具有可靠的长期稳定性。
