科威勒气体流量仪

介质要求

洁净干燥无腐蚀性气体

介质种类

空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等

量程

(0...1, 3, 5) SCCM

(0...10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM

(0...1, 2, 3, 5, 10, 20, 30, 50, 100) SLM

精度

读数误差的^1%或满量程误差的^0.5%，二者取最大值

分辨率

zui低^0.01SCCM

响应时间

≤0.7S

重复精度

±0.2%F.S

线性

±0.5%F.S

漏率
最大耐压

1×10^-11Pa·m3/sec He

10bar

环境条件

工作温度

-20...60℃（低温或高温条件下试用需特别说明）

工作湿度

10%~90%RH（无结冰，无凝露）

工作压力

0...1MPa

储存温度

-20...85℃

电气参数

供电电压

DC8-24V，纹波≤50mV

功耗

＜^1.2W（有屏幕）

＜^0.3W（无屏幕）

启动时间

0.5s

预热时间

<10ms

通信方式模拟信号（电流、电压）

电流信号

4...20mA (线性对应量程)

电压信号

1...5V (线性对应量程)

模拟信号

RS485

数字信号（RS485）

接口类型

D-SUB 9针

通信速率

4800, 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200, 128000,

230400, 256000, 460800, 500000（可通过指令或者上位机修改）

协议

RS485（默认Modbus-RTU，可定制私有协议）

设备地址

1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)

最大节点数

250

机械参数

接头类型

卡套：^8mm（默认）、^12mm、^{3/8 inch}，快插：^6mm，^8mm，其它可选

主体材质

底座：航空铝合金，外壳：钢板镀锌

密封材质

FKM氟橡胶

重量

0.5kg